智能3D无损缺陷检测系统及服务

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用于3D装配缺陷检测的3D内置自测系统,可以起到检测垂直连接3D器件中不同层的互连中的缺陷的作用,也起到检测3D集成电路的2D层中的缺陷的作用。

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