氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料。它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损，为原子晶体；高温时抗氧化。而且它还能抵抗冷热冲击，在空气中加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。由于氮化硅与硅性能差距比较大，硅上生长氮化硅薄膜应力比较大，后期加工容易破裂。团队经过多年研发获得超薄低应力氮化硅薄膜，最小厚度可以达到10nm。以超薄氮化硅薄膜技术为基础，团队进一步研发出了高清显微测试技术，原子力显微镜探针和MEMS力学传感器。产品可以应用于先进材料、汽车行业、智能设备等领域。

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